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        薄膜半导体材料制备系统

        • TPD系统
        TPD系统

        TPD系统

        TPD系统


        程序温度脱附控制系统 (TPD)


        用于测量超薄薄膜吸附/脱吸的独立系统,能够在较宽温范围内进行高精度温度控制。

        • 本底真空1×10-9 mbar TPD/TDS 腔室(可用于其他组件的备用端口)
        • 配备四极杆TDS 40A1热脱附质谱仪(质量范围最大到200 AMU),Z轴移动以实现最佳探测器定位
        • 特别设计的圆锥形采样端件
        • 1 轴超高真空操纵器,在宽温范围内具有高精度温度控制(-170°C 1200 °C
        • TDS专用 计算机控制的数据采集和处理软件
        • 样品传输腔配置两个 PTS 样品夹具
        • 从样品传输腔到 TPD 室配置可靠和快速的线性传输系统
        • 19" 支撑柜,安装所有的电子部件
        • 具有大轮子的可调节刚性大型机,便于系统放置

        升级选项

        • 操纵器的其他运动轴,并完全机动化
        • 通过精确控制压力,将压力范围从超高真空扩展到 1 atm 的可能性
        • 气体注入系统(手动或精确与 PLC 控制)
        • 溶剂注入系统
        • 致力于在腐蚀性环境中工作的样品夹具
        • 样品传输腔室具有加热和 液氮LN2冷却选项
        • 用于样品准备的专用室
        • 不同质量范围的残余气体分析质谱仪



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