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        半导体测试设备

        • 真空摩擦学系统
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        真空摩擦学系统真空摩擦学系统真空摩擦学系统

        真空摩擦学系统

        真空摩擦学系统

        摩擦腔室

        用于研究超高真空或大气环境条件下两个表面之间的摩擦性质

        • 应用负载从 1 到 10N
        • 摩擦系数测量从 0.001 到 2
        • 应用负载的闭环控制


        • 摩擦球夹具使用2轴操纵器(带加热)(最多1/2")
        • 1 轴操纵器(带加热和冷却)用于平面样品夹具
        • 压力范围从10-9 mbar到1bar
        • 可以在下面气氛中使用:氧气,氢气,水蒸气,简单的碳氢化合物
        • 模块化设计允许连接沉积模块(MBE、PLD、溅射)或分析模块(XPS、UPS、ARPES、IR等)


        专利号 n° FR 15 55388, 标题:用于测量摩擦力的高精度装置


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