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        薄膜半导体材料制备系统

        • 超高真空多腔室物理气相沉积系统
        超高真空多腔室物理气相沉积系统

        超高真空多腔室物理气相沉积系统

        • 极限真空:5E-10torr
        • 产品描述:超高真空多腔室物理气相沉积系统

        高真空多腔室物理气相沉积系统(PVD)

        该系统由全球专业的沉积设备商制造,配置多种沉积方式(预留各种功能接口),高度灵活,非常适合多种沉积模式的科研.

        目前该系统的超高真空条件沉积模式(仅用机械泵+分子泵,极限真空可达5X10E-10Torr)。多种组合沉积模式,同一腔体实现多种功能沉积方式,沉积源模式有:
        磁控溅射源
        电子束蒸发源
        热蒸发源
        该系统高度灵活,软件操作方便,专业为研究机构沉积超纯度薄膜,是真正的超高真空沉积系统。
        技术参数:
        极限真空: <5x 10E-10 torr(经过24小时烘烤冷却后);
        镀膜均匀度:<3%
        样品传送: 便捷安放上置衬底
        机柜: 占用空间小结构;
        样品台工作: 旋转, 加热, 加载偏压;
        样品操作: 预抽真空室;
        样品尺寸: 1”、 2”、 3”、 4” 、8”、12”等;
        膜厚监控: 石英晶体微天平, 椭偏仪;
        烘烤: 内置加热或外置保温加热;
        简单方便 的全自动软件操作:全自动抽取真空并且程序自动运行。

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