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        光刻系统

        • 硅穿孔工艺设备
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        硅穿孔工艺设备

        硅穿孔工艺设备
        硅穿孔(TSV,Through Silicon Via):通过芯片和芯片之间,晶圆和晶圆之间制作垂直导通,实现芯片之间互连的最新技术。能够使芯片在三维方向堆叠的密度最大,芯片之间的互连线最短,外形尺寸最小,并且大大改善芯片速度和低功耗的性能,使目前电子封装技术中最引人注目的新技术。
        特点:
        1.缩小封装尺寸。
        2.高频特性出色,减少传输延时的一种技术。
        3.降低芯片功耗,TSV可将硅锗芯片的功耗降低约40%。
        4.热膨胀可靠性高。



        产品特点:
        应用范围:TSV工艺
        晶圆尺寸:6英寸,8英寸,12英寸
        工艺流程:Insulation, Barrier,Cu seed/fill/Prewet, Anneal
        工艺特型:单晶圆面向上湿法工艺
        薄膜沉积:Electrografting(eG) and Chemicalgrafting(cG) deposition
        反应物管路:CDS( Chemistry Delivery System)
        系统参数:单晶圆腔体工艺(手动,半自动)
        多腔体工艺(自动)
        --EFEM/FOUP(Robot/Pre-aligner)
        --Transfer Robot
        --Process cell
        --Control unit
        --Electric unit
        --Chemical supply unit
        --CDS

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