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        材料表征设备

        • 俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统
        俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统

        俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统

        • 产品描述:俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统
        俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统
        俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统,又称俄歇电子能谱AES及低能电子衍射LEED样品表面深度分析系统。基于俄歇电子能谱AES、低能电子衍射LEED、及氩离子溅射深度分布的分析系统,完成对薄膜及合金的元素组成和深度分布的分析。
        非接触式测量薄膜及合金元素组成。
        带样品预抽真空室 (load-lock腔室)。

        特性:
        -对原子结构,元素组成和厚度分析达到“亚纳米级”精度
        -大范围样品分析
        -半自动化操作


        系统特性
        俄歇电子能谱AES分析器
        分析器型号-延迟型区域分析器,自带同轴电子枪
        能量分辨率:<5%
        工作距离 10mm
        检测器: 1e7至1e8增幅范围的电子倍增器通道
        安装法兰-4.5英寸O.D.标准CF法兰(NW63CF)

        电子枪:
        型号 :带可调焦距和束斑直径的双静电透镜
        束流电压:0-3KV
        束流电流:最大50uA
        束流直径:最大800um
        灯丝:钨灯丝
        磁罩:带前置保护壳的Mu罩

        深度离子溅射枪
        离子源  在磁场内电子冲击形成离子
        离子化阴极  钨-铼灯丝
        直接安装于70mmO.D.CF法兰
        束流电流:最大10 uA
        束流能量:0-3keV
        束流尺寸;直径范围5至25mm
        束流均匀度:<5%
        气体输入:经过泄漏阀气体直接输入至离子源
        安装法兰:23/4英寸(70mm)O.D.CF法兰

        样品传递操作
        样品尺寸:尺寸从10mm-20mm
        样品置入:单个样品置入
        样品传输:线型磁动样品传输臂

        真空系统
        腔体:100mm焊接超高真空腔体(304不锈钢)
        真空泵:60L/sec离子泵和50l/sec的分子泵,配备匹配的前级泵
        真空规:宽量程真空规

        真空兼容:超高真空材料
        烘烤:真空下可最高烘烤至250度
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