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        半导体辅助设备

        • 划片机??
        划片机??

        划片机??

        划片机
        Scribe100划片机是一款设计用于划割和分离微型元件,诸如GaAs和Si晶圆的设备。该设备可以按序划割和分离晶圆等,并且保证元件整洁和完整无伤。
        在分离时,Scribe100使用聚酯薄膜层来托住元件同时线型刀沿着中心线升高以便分离。薄膜层帮助元件阻拦污染或重压。全部参数都由控制键盘设定。这是一款稳定,抗振动,和易操作的设备。




        划片刀头
        角度可调Z向运动
        划割力可调:3gr-100gr,。恒定重量
        金刚石工具:角度和旋转是可调的
        带十字线的工具补偿

        晶圆台
        晶圆支架:最大4英寸
        元件尺寸:最小200um
        晶圆厚度:80um以上
        手动旋转:90度
        螺旋仪调整旋转合轴
        XY位移台/显示分辨率1um
        运动方向可控

        观测系统
        匹配应用范围的光学放大
        合轴:程序控制或手动
        17寸TFT显示器和高精度彩色摄像头
        目标产生器
        LED光源


        分离
        分离模式:手动控制或自动控制
        分离模式:使用顶部聚酯薄膜层和底部切割刀
        聚酯薄膜:可移除以便预防污染
        基于应用需求的可调提供多层顶部聚酯层方案

        可设定参数
        步进参数和垂直间隔
        Y划割速度可调,0.1-20mm/sec。
        程序化控制划割长度
        重复性划割
        划割总次数
        元件总数
        底部接触速度
        划割计数

        安装要求
        电源:230VAC,0.5kW
        压缩空气:70psi
        真空度:60%
        尺寸:450mm&700mm*500mm
        重量:80kg


        上一个:轮廓仪 下一个:空气监测系统
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