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        半导体测试设备

        • 飞行时间二次离子质谱
        飞行时间二次离子质谱

        飞行时间二次离子质谱

        • 飞行时间二次离子质谱
        • 产品描述:TOFSIMS

        飞行时间二次离子质谱

        飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术。可以广泛应用于物理,化学,微电子,生物,制药,空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三维样品的元素,分子等结构信息。


        技术参数:
        . 并行探测所有离子,包括有机和无机分子碎片。
        . 无限的质量探测范围(实际测量中大于1000m/z 原子量单位)。
        . 完全透过率下实现高的质量分辨率。
        . 极高的横向和纵向空间分辨率(横向小于100纳米,纵向小于1纳米)。
        . 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
        . 质量探测分辨率(M/ΔM) >1000
        . 质量探测准确度 ≥20 milli 质量单位
        . 反射性分析器
        . 5 分钟样品腔真空度可从大气环境达到真空工作环境

        主要特点:
        .  超高的表面灵敏度(1x109 atoms/cm2)
        ·  操作简单(? day training)
        · 1 分钟分析,样品处理流程 <7分钟
        · 导体和绝缘体表面均可测试
        · 可得到元素和分子信息
        · 从元素中分离出普通有机物
        · 正电和负电的 二次离子质谱
        · 同位素分析
        · 分析面积 ~0.5 mm
        ·  溅射预清洗表面
        · 提供材料数据库


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