<u id="fxvfm"></u>
<big id="fxvfm"></big><center id="fxvfm"></center>
    1. <tr id="fxvfm"><option id="fxvfm"></option></tr>

      <code id="fxvfm"></code>
      <code id="fxvfm"></code>
      <strike id="fxvfm"><video id="fxvfm"></video></strike>
      1. <strike id="fxvfm"><sup id="fxvfm"></sup></strike>
      2. 语言选择: 中文版 ∷  英文版

        半导体测试设备

        • 非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
        非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪

        非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪

        • 产品描述:非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
        非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
        全自动二维或三维测量弯曲、弧度、坡度和表面曲率,
        软件模块用于计算硅片和玻璃基板的薄膜应力(晶圆应力)
        应用
        平板扫描用于非接触式测量各种反射表面的平整度、波纹度、平均半径和薄膜应力,如硅片、镜子、X射线镜(Goebel镜)、金属表面或抛光聚合物。光学测量原理确保了高精度。它是基于测量垂直入射激光束沿等宽直线的反射角。通过测量点之间反射角的变化,可以精确地计算出表面形状。对于某些应用,反射角本身很有趣。因此,软件还提供了这种测量选项。
        对于半导体技术中的应用,涂层中的薄膜应力可以通过测量涂层前后的半径来计算。
        大测量区域
        所用测量原理的一个特点是它独立于测量领域。
        因此,在不降低精度的情况下,可以任意增大标准测量区域直径200毫米。
        测量精度高
        平板扫描具有较高的测量精度。测量系统的分辨率为0.1弧秒。表面形状再现性达100nm。
        测量范围大,工作距离大
        测量范围是可以在一次扫描中测量的最大箭头高度(或最小可测量曲率半径)。平面扫描的特点是测量范围非常大,这是无法实现与竞争性的测量方法,如条纹干涉仪。
        因此,平面扫描适用于测量具有强曲率的表面,如Goebel反射镜、硅片或其他。使用的光学测量原理工作时与工作距离无关,保证了较高的工作距离,因此不存在损坏试样的危险。

        可选二维或三维测量
        可选,根据设备类型,可以完成单线扫描或完整的3D扫描。
        三维扫描是由许多具有自动样本定位的单行扫描组装而成的。
        该软件为测量结果的图形和数字表示提供了所有最先进的可能性,如三维表示、剖面图和测量协议。
        薄膜应力计算软件模块
        对于半导体技术和所有应用,在完成表面改性(如涂层或涂层去除)的情况下,软件配备了用Fowkes理论计算薄膜应力的模块。通过这种方法,平板扫描可以快速而容易地测量薄膜应力。 薄膜应力是根据涂层前后的平均曲率半径计算出来的。
        技术参数
        再现性表面曲率(p-v):小于100纳米
        光学测量系统的分辨率:0.1弧秒
        光学测量系统精度: 1弧秒
        测量速度: 10毫米--30毫米/秒
        测量区域:标准直径200 mm
        试样厚度:不限
        最小曲率半径和根据扫描长度确定的箭头高度:
        200毫米:R=18米290微米,
        300毫米:R=25米435微米,
        500毫米:R=43米725微米
        自由工作距离:不限
        测量波长:标准670纳米
        自动顺序测试
        上一个:沉积用等离子体 下一个:四点探针
        一分快三app推荐
        彩神vlll官网 彩神8app下载安装 彩神V 光大彩票注册平台 彩神5 神彩争霸8|谁与争锋 手机购彩 彩神IV官方 网信彩票 富豪彩票网 极速快三官网 手机十三水 光大彩票网 网信彩票网 网盟彩票app 幸运快三彩票 极速快三平台 彩神iv 大发彩票 北京快3 幸运飞艇平台 幸运快三彩票 神彩争霸8官方网站 彩神ll 168彩票 彩神IV官方 vip彩票 神彩争霸8|谁与争锋 北京快3 彩神iv争霸 彩票大赢家 500彩票网 好运彩彩票网 彩神iv争霸 神彩争霸app官网 一分快3彩票 彩票app 彩神ll手机版下载 好运彩彩票网 一分快3彩票 神彩争霸8最新版本下载 十三水游戏 55世纪官网 手机购彩 好运彩彩票网 彩神ll争霸 快三信誉平台 彩神iv争霸 极速快三 百姓彩票网 大发彩票 一分快3彩票 APP彩票平台 55世纪官网 极速快三官网 神彩争霸8最新版本下载 彩神ll登录 神彩网 彩神X 彩神VI 彩票app 彩神v在线登录 每日彩票网 彩神iv争霸 手机彩票 神彩争霸8 神德正彩票 神彩争霸app官网 神彩争霸下载旧版 优信彩票 彩神5 大发彩票 178彩票网 vip彩票 彩票app 彩神v 网信彩票 神彩争霸8 彩神vlll 彩神iv争霸 彩神v在线登录 光大彩票app下载登录 富豪彩票网 极速快三 极速快3app 网信彩票网 优信彩票 彩神X 极速快三官网 快三 彩神ll平台 网信彩票网 凤凰彩票网 第1彩票网 极速快3app 神彩争霸8|谁与争锋 网信彩票 快三app 彩神8 手机彩票网 手机彩票网 彩神X 一分快3 彩神登陆 北京快3 快三信誉平台 3分快3 178彩票 今日彩票 500彩票 神彩争霸8 一分快3 每日彩票平台 网盟彩票 光大彩票注册平台 VIP彩票平台 彩神登陆 一分快三网站 极速快3app 网盟彩票网 神德正彩票 彩票app 彩神5 彩神8 彩神登陆 今日彩票 彩神iv 手机十三水 快三信誉平台 富豪彩票 神彩争霸8 网信彩票 vip彩票网 神彩争霸8最新版本下载 今日彩票网 百姓彩票 极速快三 快三信誉平台 彩神ll争霸 500彩票 极速快三平台 极速快3 APP彩票 彩神v在线登录 光大彩票 168彩票 网信彩票网 百姓彩票 网盟彩票平台 3分快三app 快三 富豪彩票 快三 神彩争霸8 彩神ll争霸 神彩争霸8最新版本下载 APP彩票 168彩票网 神彩争霸app官网 百姓彩票网 十三水游戏 彩神ll争霸 神彩网 彩神X 幸运快三彩票 凤凰彩票网 北京快3 优信彩票 手机彩票 神彩争霸app官方 彩神vlll 500彩票 3分快3 神彩争霸8|谁与争锋 富豪彩票网 500彩票网 优信彩票 凤凰彩票网 神彩争霸8|谁与争锋 彩神8 3分快3 北京快3 APP彩票 178彩票 每日彩票网 彩神登陆 网信彩票 手机十三水 彩神X 神彩争霸8 vip彩票网 神彩争霸app官网 光大彩票 彩神vlll 神德正彩票 一分快3彩票 神彩争霸app官网